VSP系列干式无油螺杆真空泵，也称变节距干式螺杆真空泵，是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成一个工作室，两个螺杆转子之间及与泵体之间没有摩擦且保持一定的间隙，两个转子与泵体之间形成了多个密封工作腔，工作腔无需润滑油，转子通过同比齿轮在泵壳中作同步高速反向旋转时，将各密封腔内的气体从进气端不断地推向排气端，从而产生的吸气和排气作用的抽气设备。
干式螺杆真空泵是油封式真空泵的更新换代产品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。
VSP系列变节距干式螺杆真空泵工作腔无需润滑油，无工作介质，干式运行无污染。
VSP系列无油式真空泵比等距螺杆可节省约30%能耗，为用户大幅度降价运行成本，可选配永磁电机。
结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、转速低、噪音低、震动低、寿命长。
集成控制系统，可无人值守和远程控制。
工作范围广，在10Pa~10e5Pa范围内抽速无衰减，极限压力1Pa以下。
微电子、半导体、锂电池行业、光伏产业、空间模拟、冶金系统、镀膜、电浆制程、制程气体抽取、电子加工、生物技术、制药、化工等行业。
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